高效率：采用高速同步运动控制技术，全方位满足IC产品高效检测需求
高检出率：基于特征机器学习算法有效识别细微缺陷，提高缺陷检出率
智能性：提供处方辅助编辑功能，提升人员效率，缩短新产品导入周期
全面性：支持IC各工序的全自动检验，具备良好的物料兼容性
工厂自动化：支持SECS/GEM SEMI标准，全面满足工厂自动化需求
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